系列湿法清洗电镀设备

SKQX系列湿法设备广泛应用于集成电路、光电器件、MEMS及分立器件、半导体材料加工、太阳能光伏等领域,用于各种半导体基片及半导体材料制造过程中湿法清洗工艺,有手动、半自动及全自动三种配置。

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湿法清洗机具有以下先进技术: 1 国产精品久久. 系统集成技术 2. 自动精确配液、传输及精准控制技术 3. 材料与化学药液工程防护技术 4. 结构系统模块化控制技术 5. 晶片自动传输及自动清洗控制技术 6. 工艺槽流体均匀性控制技术 7. 产品、人员安全防护控制技术.

主要技术特点: 控制方式:采用进口高性能PLC和触摸屏或工控机实现集中控制,结合单元功能增加快捷按钮控制简化操作 槽体配置:材料:NPP,PVDF,一体成型PTFE 久久久久久久, 进口石英,PVC,316L不锈钢等多种材料 槽体功能:恒温控制(加热/制冷),循环过滤,自动配液/补液,抖动,旋转,超声/兆声,溢流,三级清洗,快排,鼓泡,干燥等 定制设计:根据用户要求提供工艺配置及工艺技术支持.


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