主要技术指标： 1，腔体内尺寸：360mm(D)X250mm（W）X110mm(H)（参考尺寸）。 2，装片容量：最大1-7片标准8寸片。 3，腔体温度：30——60℃可调。温控表控温，由PLC设置和显示。控制精度±1℃。 4，管道HF压力：700---550Torr。 5，管道温度：30——60℃可调。温度控制精度±1℃。 6，腔体真空度：50-250Torr。 7，HF气体流量：20——1000ml/min。 8，N2气体流量：40——2000ml/min。 9，乙醇液体流量：40——2000ug/min。 10，所有压力表头及压力传感器接口均为VCR型式。 11，外框面板采用冷板喷塑，厚度1，5mm，符合常规半导体生产设备颜色。 国产精品久久。