HMDS晶片预处理系统主要用于半导体芯片涂胶前的预处理工艺,去除晶片表面的OH强基,形成HMDS膜,增强涂胶后的附着力,提高光刻质量增加成品率 国产精品久久。
主要技术指标: a,HMDS晶片处理系统主要包括:真空反应室,真空系统,加热系统,HMDS送液系统,控制系统,报警系统 b,不锈钢反应室:450mmx450mmx450mm c,系统真空度:>-100Kpa d,plc,触摸屏控制,触摸屏设置各种参数 e,加热功率:1200W/220V f 久久久久久久,控制方式:自动/手动.